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水性碱可溶性树脂感光性树脂组合物光掩模和牙条电工设备高频天线电阻材料曝气器We

2023-01-18 22:30:15 电阻材料    电工设备    牙条    

水性碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、光掩模和电子装置的制造方法

“在这类情况下 专利名称金属管材:水性碱可溶性树脂、感具有按键调速、实验力位移数字显示光性树脂组合物、光掩模和电子装置的制造方法

专利申请号:02151387. 2

公开号:1428358

申请人:日本株式会社日立制作所

本发明提供一种可以以较少的工序数目制造、高精度且低风机缺陷的 流延膜KrF 准分子激光平版印刷法用光掩模。本发明的KrF 准分子光平版印刷法用光掩模,是在石英玻璃基板上直接形成可将 KrF 受激准分子激光(波长约 248nm)有效地吸收的抗蚀图案。抗蚀图案是在萘环导入至少结合有一羟基的高遮光性水性碱可溶性树脂或该水性碱可溶性树脂的衍生物力值作为高切丁机分子树脂基质的水性碱可溶性树脂作为主成分的感光性树脂组合物所构成。

信息来源: 广东印刷

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